有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀設(shè)備用途：

有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀用于生長(zhǎng)薄膜太陽(yáng)能電池，EL OEL分子有機(jī)電致發(fā)光器件薄膜的研究工作。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。

真空室		二個(gè)D型真空室，尺寸均約為?450×H750mm; 兩個(gè)真空室的真空系統(tǒng)配置、極限壓力、恢復(fù)真空時(shí)間、熱阻蒸發(fā)舟及電源、膜厚監(jiān)測(cè)儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺(tái)的配置與技術(shù)參數(shù)指標(biāo)相同；
真空系統(tǒng)配置		日本進(jìn)口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復(fù)合數(shù)顯真空測(cè)量規(guī)與計(jì)、閥門等。
極限壓力		≤2.0×10-5Pa
恢復(fù)真空時(shí)間		40分鐘可達(dá)到1×10-4Pa
電動(dòng)磁力耦合樣品傳遞裝置	真空室1	采用磁力耦合line motion傳遞裝置，采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，設(shè)有遠(yuǎn)程手控控制盒，可控制直線前進(jìn)后退。
有機(jī)蒸發(fā)源及電源	真空室1	新型0EL升華型蒸發(fā)源9支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃7支，室溫-1000℃2支；蒸發(fā)源電源4臺(tái)。
	真空室2	新型0EL升華型蒸發(fā)源6支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃6支；蒸發(fā)源電源3臺(tái)。
熱阻蒸發(fā)舟及電源		新型蒸發(fā)舟2組（熱阻蒸發(fā)舟）； 數(shù)字式熱阻蒸發(fā)電源1臺(tái)，帶有細(xì)調(diào)功能（0.1安培）；鍍鋁專用盒式蒸發(fā)舟：2個(gè)； 普通金屬蒸發(fā)舟10個(gè)；蒸發(fā)源擋板2套；
膜厚監(jiān)測(cè)儀	厚度分辨率	不平均：0.0133埃/測(cè)量；50個(gè)樣品平均：0.002埃/測(cè)量
	速率分辨率	不平均：0.0133埃/秒；50個(gè)樣品平均：0.02埃/秒
	精度	0.03HZ/測(cè)量，2ppm
	速度	每秒測(cè)量十次
真空室照明裝置		采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈
烘烤裝置		在真空室外烘烤帶的烘烤方式
樣品臺(tái)	樣品尺寸	可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片
	運(yùn)動(dòng)方式	可電動(dòng)上下升降，可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為0-30轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速可調(diào)

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