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本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀,設備安裝有鎢絲籃蒸發源,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作,配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境;同時設備采用高罐體及電動升降樣品臺的設計,能夠滿足不同樣品和膜料的蒸鍍要求;升降機構采用焊接波紋管密封,在保證密封性的情況下實現了樣品臺的升降動作。樣品臺的升降及旋轉均可通過屏幕控制,操作簡單直觀,十分適合實驗室使用。
小型蒸發鍍膜儀技術參數:
產品名稱 |
桌面型電動升降樣品臺蒸發鍍膜儀 |
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產品型號 |
CY-EVZ195-I-H-SS |
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樣品臺 |
外形尺寸 |
直徑φ70mm |
可調溫度 |
≦500℃ |
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熱蒸發源 |
金屬蒸發源鎢舟1個 |
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蒸發電源 |
每個蒸發源配一組獨立電源 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ195mm,高度350mm |
觀察窗口 |
直徑φ60mm |
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腔體材質 |
304不銹鋼 |
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開啟方式 |
前開門式 |
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膜厚測量 |
晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀) |
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真空系統 |
前級泵 |
雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級泵 |
渦輪分子泵,氣體抽速600L/S |
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真空測量 |
復合真空計(電離規+電阻規) |
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系統真空 |
5×10-4Pa |
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控制系統 |
CYKY自研專業級控制器 |
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其他參數 |
供電電源 |
AC380V,50Hz |
整機尺寸 |
600mm×600mm×750mm |
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整機功率 |
1200W |
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整機重量 |
95kg |